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重慶凈化車間的鋁材在表面上的溫濕會不會有什么影響
來源：www.clsx.com.cn 發布時間：2019年01月14日
隨著氛圍干凈度請求的進步，工藝對溫濕度的請求也越來越嚴，那么干凈室內溫室渡過高或者過低，有什么影響呢？
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加工精度越來越精細，對溫度堅定范圍的請求就越來越小。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中，作為掩膜板質料的玻璃與硅片的熱收縮系數的差請求越來越小。
上面就以這個例子來說：
直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性收縮，以是必需有±0.1度的恒溫，同時請求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對產物將有凈化，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超越25度，濕渡過高發生的題目更多。
絕對濕度超越55%時，冷卻水管壁上會結露，假如發作在精細安裝或電路中，就會惹起種種變亂。絕對濕度在50%時易生銹。
小龍
此外，濕度太高時將經過氛圍中的水分子把硅片外表粘著的塵土化學吸附在外表難以肅清。絕對濕度越高，粘附的越難去掉，但當絕對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表，同時大批半導體器件容易發作擊穿。
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加工精度越來越精細，對溫度堅定范圍的請求就越來越小。例如在大范圍集成電路消費的光刻曝光工藝中，作為掩膜板質料的玻璃與硅片的熱收縮系數的差請求越來越小。
上面就以這個例子來說：
直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性收縮，以是必需有±0.1度的恒溫，同時請求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對產物將有凈化，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超越25度，濕渡過高發生的題目更多。
絕對濕度超越55%時，冷卻水管壁上會結露，假如發作在精細安裝或電路中，就會惹起種種變亂。絕對濕度在50%時易生銹。
小龍
此外，濕度太高時將經過氛圍中的水分子把硅片外表粘著的塵土化學吸附在外表難以肅清。絕對濕度越高，粘附的越難去掉，但當絕對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于外表，同時大批半導體器件容易發作擊穿。
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